兆音速单/双喷嘴

专注精要–无接触清洁

兆声波喷嘴中的换能器产生一个兆声波,通过流动液体(如去离子水)传输到基板表面。兆声波能量集中在2毫米或4毫米的一个小点上。
SONOSYS®兆声波喷嘴的频率为:600 kHz(新)/1兆赫/2兆赫/3兆赫/4兆赫和5兆赫。

这种无内胆的兆音速喷嘴系统提供先进的非接触式清洁工艺。

应用:
清洗单个晶圆、掩模、LCD、基板和微机电系统(MEMS),以及光学行业中600 kHz的较大颗粒,来自医疗设备和传感器