超声波清洗
什么是超声波清洗？
兆声波/超声波发生器将50/60赫兹的主电压转换为与换能器工作频率相对应的频率。压电换能器粘结在水槽外的板上，产生高频声波，在液体中传播。沿着波浪的每个点在最大和最小压力之间振荡。当最小压力低于液体的蒸气压时，液体中会形成气泡。当压力增加到最大压力时，气泡内爆，当流体冲入来填充破裂气泡留下的空隙时，会发出强烈的能量冲击波，这种效应被称为空化. 这种能量被称为空化能，非常适合于去除基底上的颗粒或污染物。
兆声与超声
不同的因素可以影响超声/兆声波过程中空化能量的强度，例如液体的表面张力或从基板到换能器的距离。然而，最关键的因素是声波的频率。
在典型的超声波清洗过程中，传感器的工作频率在25 kHz和100 kHz之间。这种较低的频率会产生直径达150µm的较大气泡，并在破裂时产生较高的空化能量。兆声波处理利用频率从400千赫到5兆赫。这些更高的频率产生更小的气泡，当它们破裂时，产生的空化能量也相应减少。超声清洗过程中产生的高空化能会破坏基体的敏感结构。由兆声波产生的更温和的清洁能源能够去除纳米范围内的颗粒，而不会损坏敏感设备。
频率为25kHz（内爆瞬间）的多个放大空泡
