潜水式换能器

使用潜水换能器 400 kHz+600 kHz/1 MHz+2 MHz,可灵活且经济高效地进行改造

由不锈钢或塑料(例如:PVDF或PFA)制成的完全封装换能器,安装在现有水槽的底部或侧壁。除了4英寸、6英寸和8英寸基板的标准系统外,还提供定制的解决方案。
这一灵活的配置允许一个方便的改装与兆声系统在现有水槽。
在世界各地,SONOSYS®代表独特的未来安全解决方案。这尤其适用于频率为400 kHz/600 kHz/1 MHz和2 MHz的Megasonic系统。
极为均匀的能量传输确保了迄今为止未达到的清洁性能,同时为微结构提供了最好的保护。世界上独一无二的:我们的换能器系统,拥有正在申请专利的压电陶瓷,可以实现40%以上的声压或高达30%的效率。

应用:
基板、半导体晶圆、微零件和微系统(MEMS)的清洁,最大可达200毫米,光致抗蚀剂在LIGA内的去除技术,以及蚀刻工艺。