Edelstahl
Beschichtet

Tauchschwinger

Flexibel und kostengünstig nachrüsten mit unseren Megaschalltauchschwingern

Unsere Tauchschwinger – als gekapselte Transducer aus Edelstahl oder Kunststoff (z.B. PVDF und PFA), eignen sich zur Platzierung am Boden oder der Seitenwand in vorhandenen Bädern.
Neben den Standardausführungen für 4", 6" und 8" Substrate können die Abmessungen der Tauchschwinger auch kundenspezifisch ausgelegt werden. Sie stehen in den Frequenzen von 400kHz / 600kHz / 1MHz und 2MHz zur Verfügung.
Diese äußerst flexible Ausführung ermöglicht ein kostengünstiges Nachrüsten von Prozessbecken mit einem Megaschallsystem.

Anwendungen:
Reinigung von Substraten, Halbleiterwafern, Mikroteilen und Mikrosystemen, sowie Masken bis 200mm. Unterstützung des Entwicklungsprozesses in der LIGA-Technik sowie von Ätzprozessen.

Anwendungen:

Reinigung von Substraten, Halbleiterwafern, Mikroteilen und Mikrosystemen sowie Masken bis 200mm. Unterstützung des Entwicklungsprozesses in der LIGA-Technik sowie von Ätzprozessen.

Tauchschwinger in Aktion

Tauchschwinger aus Edelstahl

Unsere Tauchschwinger aus Edelstahl bestehen aus folgenden Komponenten und Materialien, die mit dem Medium in Kontakt kommen:

  1. Gehäuse (Edelstahl)
  2. Transducerplatte (Edelstahl)
  3. O-Ring (meistens FKM oder FFKM)
  4. Wellschlauch (PTFE-Schlauch mit Edelstahl-Umflechtung)

 

Ausführungen

Für jeden Badeinsatz haben wir die richtige Lösung. Unsere Tauchschwinger mit abgewinkelten oder geraden Schlauchabgängen ermöglichen einen flexiblen Aufbau der Anwendungsumgebung.  

Leistung

Die maximale Leistung der Tauchschwinger liegt bei ca. 4W/cm² (Generatorleistung 100%)

Die Generatoren können zwischen 10% und 100% eingestellt werden; auf Kundenwunsch sind bei der maximalen Leistung auch geringere Werte umsetzbar.

Beschichtete Tauchschwinger

Unsere beschichteten Tauchschwinger bestehen aus folgenden Komponenten und Materialien, die mit die mit dem Medium in Kontakt kommen:

  1. Gehäuse (PVDF)
  2. Transducerplatte (PFA-beschichtete Edelstahlplatte)
  3. O-Ring (meistens FKM oder FFKM)
  4. Wellschlauch (PTFE)

 

Ausführungen

Für jeden Badeinsatz haben wir die richtige Lösung. Unsere Tauchschwinger mit abgewinkelten oder geraden Schlauchabgängen ermöglichen einen flexiblen Aufbau der Anwendungsumgebung.  

Leistung

Die maximale Leistung der Tauchschwinger liegt bei ca. 4W/cm² (Generatorleistung 100%)
Die Generatoren können zwischen 10% und 100% eingestellt werden; auf Kundenwunsch sind bei der maximalen Leistung auch geringere Werte umsetzbar.