Tauchschwinger

Flexibel und kostengünstig nachrüsten mit Megasonic Tauchschwingern

Völlig gekapselte Transducer aus Edelstahl oder Kunststoff (z.B.: PVDF und PFA) zur Platzierung am Boden oder der Seitenwand in vorhandenen Bädern.

Neben den Standardausführungen für 4", 6" und 8" Substrate können die Abmessungen der Tauchschwinger auch kundenspezifisch ausgelegt werden. Sie stehen in den Ultraschallfrequenzen von 400 kHz / 600 kHz / 1 MHz und 2 MHz zur Verfügung.

Diese äußerst flexible Ausführung ermöglicht ein kostengünstiges Nachrüsten von Prozessbecken mit einem Megasonic System.

Anwendung:

Reinigung von Substraten, Halbleiterwafern, Mikroteilen und Mikrosystemen, sowie Masken bis 200 mm. Unterstützung des Entwicklungsprozesses in der »LIGA-Technik«, sowie von Ätzprozessen.