Face-To-Face Transducer Frequenz 400 kHz / 1 MHz

Reinigung von Substraten und Halbleiter-Wafern bis 300 mm Durchmesser im Single Prozess

Hermetisch gekapselter Transducer aus Kunststoff PFA zur Montage in einem definierten Abstand über dem rotierenden Substrat. Zur Übertragung der Ultrasonic-Energie muss während des Betriebes immer ein Flüssigkeitsfilm zwischen der Substratoberfläche und der aktiven Transducer-Unterseite vorhanden sein.