Megasonic Becken
Becken für jeden Einsatzzweck
Becken für den Einsatz in Nassprozessen gibt es in verschiedenen Ausführungen, z.B. in Edelstahl oder PVDF. Dabei erfolgt die Integration der Megaschall-Transducerplatte über Einschrauben oder Einschweißen und wird so fester Bestandteil des Beckens.
Die Integration der Platte wird dabei über einen Ausschnitt als Schnittstelle definiert und bei SONOSYS® eingebaut.
Die Anforderungen an das verwendete Medium (Chemikalien) definieren in der Regel den Einsatz des Materials, sowohl beim Becken als auch bei der Beschichtung des Megaschall-Schwingers. Wir beraten Sie gerne zu den möglichen Optionen und können ggf. auch bei der Beschaffung des Beckens behilflich sein.
Beispiel-Anwendung:
Das Megasonic System ist speziell für den Einsatz in Nassprozessen in der Produktion von Halbleiter-Wafern entwickelt worden. Insbesondere für SC1 und SC2 Reinigungsprozesse, sowie "Final Rinse" - Anwendungen im Temperaturbereich von 20°C bis ca. 75°C für bis zu 300 mm Wafer.
