兆声波水槽

可根据需求定制水槽

在湿法工艺中有各种类型的水槽,例如VA(不锈钢)或PVDF。换能器板可通过螺栓固定或焊接安装在水槽内,然后成为水槽的一部分。在水槽设计过程中,根据换能板尺寸开缺口,然后由SONOSYS®完成最后的集成。

通常,所使用的溶剂(化学品)确定了水槽和兆声波换能板涂层的材料。欢迎你们咨询材料的选择以及集成的方法,请随时联系我们

应用实例:

兆声波清洗系统是专门为半导体晶圆生产中的湿法工艺而开发的。主要是在SC1和SC2的清洗过程中,以及最后的冲洗,温度范围从20C至70C(最高适用于300m/12"晶圆)。