Megaschallbecken
Transducerplatten

Megaschallbecken

Becken für jeden Einsatzzweck

Becken für den Einsatz in Nassprozessen gibt es in verschiedenen Ausführungen, z.B. in Edelstahl oder PVDF. Dabei erfolgt die Integration der Megaschall-Transducerplatte über Einschrauben oder Einschweißen und wird so fester Bestandteil des Beckens.

Die Integration der Platte wird dabei über einen Ausschnitt als Schnittstelle definiert und bei SONOSYS® eingebaut.

Die Anforderungen an das verwendete Medium (Chemikalien) definieren in der Regel den Einsatz des Materials, sowohl beim Becken als auch bei der Beschichtung des Megaschall-Schwingers. Wir beraten Sie gerne zu den möglichen Optionen und können ggf. auch bei der Beschaffung des Beckens behilflich sein.

Beispiel-Anwendung:

Das Megaschallsystem ist speziell für den Einsatz in Nassprozessen in der Produktion von Halbleiter-Wafern entwickelt worden, insbesondere für SC1 und SC2 Reinigungsprozesse sowie "Final Rinse" - Anwendungen im Temperaturbereich von 20°C bis ca. 75°C für bis zu 300mm Wafer.

Transducerplatten

Lösungen zum Einbau in Edelstahl- und Kunststoffbecken

Transducer-Platten aus Edelstahl für den Einbau in Prozessbecken können für den Einsatz in Kunststoffbecken wahlweise mit PFA beschichtet werden.

Neben den Standardausführungen für Substratgrößen von 4", 6", 8" oder 12" können die Abmessungen auch kundenspezifisch ausgelegt werden. Dabei wird der Ausschnitt für die Platte während der Konstruktion gemeinsam festgelegt und dann später eingeschweißt oder eingeschraubt. Das erlaubt eine platzsparende und passende Integration der Transducerplatte in das jeweilige Becken.

Anwendung:
Reinigung von Halbleiter-Wafern mit einer Größe von 100 mm, 150 mm, 200 mm und 300 mm in Single- oder Dual-Carrier