MEGASCHALL Düsensysteme

Megaschalldüsen – Präzision und Effizienz für Ihre Reinigungsprozesse

Mit unseren Megaschalldüsen erreichen Sie eine unvergleichliche Reinigungskraft für sensible Oberflächen und komplexe Strukturen. Durch die präzise Kombination von Hochfrequenz-Schallwellen und Wasserstrahltechnologie bieten Megaschalldüsen eine hocheffiziente, materialschonende Reinigungslösung. Ideal für Anwendungen in der Elektronik-, Halbleiter-, und Oberflächentechnik, wo absolute Reinheit gefragt ist. Vertrauen Sie auf Megaschalldüsen und erleben Sie höchste Reinheitsgrade ohne Rückstände – für optimale Ergebnisse in jeder Branche!

Zu jeder Anwendung die passende Düse

Der Transducer in der Megaschalldüse erzeugt eine Megaschallwelle, die über ein fließendes Medium (z.B. DI-Wasser) auf eine Substratoberfläche übertragen wird. Die Megaschallenergie wird auf einen schmalen Punkt von 2mm oder 4mm konzentriert. SONOSYS Megaschalldüsen sind in den Frequenzen 600kHz / 1MHz / 2MHz / 3MHz / 4MHz / 5MHz und 9MHz verfügbar. Dabei gilt: je höher die Frequenz, desto schonender die Abreinigung und desto kleiner sind die Partikelbereiche, die abgereinigt werden können.
Um einen größeren Wirkbereich zu erzielen, können verschiedene Frequenzen in einer Doppel- oder Tripledüse kombiniert werden. So deckt z.B. eine Doppeldüse mit 1MHz + 3MHz einen größeren Bereich ab, als eine Einzeldüse mit 1MHz allein.

Mögliche Anwendungen

Reinigung von Single Wafern, Lithographie-Masken, LCDs, Substraten und Mikroteilen (MEMS) sowie gröbere Partikel mit 600kHz in der optischen Industrie, Medizintechnik und Sensorik.

Unsere Einfach-/Doppeldüse im Demo-System

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Einfachdüse

Bei einer Einfachdüse wird eine Frequenz über ein Medienstrahl auf die Substratoberfläche geleitet. Wir bieten Düsen in den folgenden Frequenzen an: 600kHz / 1MHz / 2MHz / 3MHz / 4MHz / 5MHz und 9MHz. Als Faustregel gilt: je höher die Frequenz, desto schonender kann gereinigt und desto feinere Partikel können entfernt werden.

Unsere Einfachdüsen bestehen aus folgenden Komponenten und Materialien, die mit dem Medium in Kontakt kommen:

Gehäuse (PTFE oder PCTFE oder Edelstahl)
Transducerplatte (Quarzglas oder Edelstahl)
O-Ring (FFKM)
Düsenspitze (Quarzglas oder Edelstahl)

Leistung

Die maximale Leistung der Düsen liegt bei ca. 270W/cm² (35W Modul; Generatorleistung 100%).
Die Generatoren können zwischen 10% und 100% eingestellt werden; auf Kundenwunsch sind bei der maximalen Leistung auch geringere Werte umsetzbar.

Doppeldüse

Bei einer Doppeldüse werden gleichzeitig zwei kombinierbare Frequenzen über zwei Medienstrahlen exakt auf einen Punkt der Substratoberfläche geleitet. Wir bieten folgende Frequenzen an: 600kHz / 1MHz / 2MHz / 3MHz / 4MHz / 5MHz und 9MHz; dabei sind alle Frequenzvarianten kombinierbar, beispielsweise: 1MHz+3MHz oder 5MHz+9MHz. Die Frequenzkombination erlaubt eine größere Bandbreite an Partikelgrößen zu entfernen.

Unsere Doppeldüsen bestehen aus folgenden Komponenten und Materialien, die mit dem Medium in Kontakt kommen:

Gehäuse (PTFE oder PCTFE oder Edelstahl)
Transducerplatte (Quarzglas oder Edelstahl)
O-Ring (FFKM)
Düsenspitze (Quarzglas oder Edelstahl)

Leistung

Die maximale Leistung der Düsen liegt bei ca. 270W/cm² (35W Modul; Generatorleistung 100%).
Die Generatoren können zwischen 10% und 100% eingestellt werden; auf Kundenwunsch sind bei der maximalen Leistung auch geringere Werte umsetzbar.

Dreifachdüse

Bei einer Dreifachdüse werden gleichzeitig 3 kombinierbare Frequenzen - über drei Medienstrahlen - exakt auf einen Punkt der Substratoberfläche geleitet. Wir bieten folgende Frequenzen an: 600kHz / 1MHz / 2MHz / 3MHz / 4MHz / 5MHz und 9MHz; dabei sind alle Frequenzvarianten kombinierbar, beispielsweise 1MHz+3MHz+5MHz oder 1MHz+1MHz+3MHz.

Unsere Dreifachdüsen bestehen aus folgenden Komponenten und Materialien, die mit dem Medium in Kontakt kommen:

Gehäuse (PTFE oder PCTFE oder Edelstahl)
Transducerplatte (Quarzglas oder Edelstahl)
O-Ring (FFKM)
Düsenspitze (Quarzglas oder Edelstahl)

Leistung

Die maximale Leistung der Düsen liegt bei ca. 270W/cm² (35W Modul; Generatorleistung 100%).
Die Generatoren können zwischen 10% und 100% eingestellt werden; auf Kundenwunsch sind bei der maximalen Leistung auch geringere Werte umsetzbar.

Schlitzdüse

Frequenz 1MHz

Der Transducer in der Schlitzdüse erzeugt eine Megaschallwelle, die über ein fließendes Medium (z.B. DI-Wasser) auf eine Substratoberfläche übertragen wird. Die Megaschallenergie wird auf einen schmalen Streifen von 1,8mm Breite und einer Länge von 44, 118, 405, 670mm oder einer kundenspezifischen Abmessung konzentriert.

Dieses Megaschall Schlitzdüsensystem ermöglicht ein kontaktloses Reinigen empfindlichster Oberflächen mit stets partikelfreiem Reinigungsmedium.