Microstreaming

Nanoclean - Partikelfrei - SONOSYS®

Die durch Megasonic-Energie erzeugte Kavitation und Mikroströmung ermöglichen in Verbindung mit chemischen Reaktionen das Ablösen von Partikeln bis in den Nano-Bereich von empfindlichen Substratoberflächen und aus Gräben von Mikrostrukturen.