Transducer-Platten

Kundenspezifische Lösungen zum Einbau in Edelstahl- und Kuststoffbecken

Transducer-Platten aus Edelstahl für den Einbau in Prozessbecken. Diese können für den Einsatz in Kunststoffbecken wahlweise mit PFA beschichtet werden.

Neben den Standardausführungen für Substratgrößen von 4", 6", 8" oder 12" können die Abmessungen kundenspezifisch ausgelegt werden.
Entsprechend der Anwendung kann die HF-Leistung des Generators in einem festgelegten Zeittakt auf die einzelnen Piezo-Elemente oder auf das gesamte Transducer-Array geschaltet werden. Somit wird entweder eine gepulste Schallwelle durch das gesamte Becken geführt oder ein komplett aktives Schallfeld erzeugt.

Anwendung:
Reinigung von Halbleiter-Wafern mit einer Größe von 100 mm, 150 mm, 200 mm und 300 mm in Single- oder Dual-Carrier.