Ultrasonic/Megasonic

Mit Ultraschall (<400 kHz) lassen sich Partikel bis ca. 4 µm entfernen. Für kleinere Partikel bis in den Nano-Bereich muss Megasonic (700 kHz bis 5 MHz) eingesetzt werden. Bei einer relativ hohen Ultraschallfrequenz von 1 MHz (Megasonic) ist im Gegensatz zu Ultraschall mit z.B. 40 kHz die Kavitationsenergie wesentlich geringer. Eine Zerstörung der Mikrostrukturen wird somit vermieden.